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丹阳市宝来利真空机电有限公司2024-12-11
设备安装与环境要求
安装位置：PVD 涂层镀膜设备应安装在平稳、坚固的地面上，避免设备因放置不稳而产生振动，影响镀膜质量。同时，设备周围要预留足够的空间，方便操作、维护和通风散热。
环境条件：设备所处的环境要保持清洁、干燥。灰尘和杂质可能会混入镀膜过程中，影响膜层质量，因此要尽量减少周围环境中的灰尘来源。另外，环境的相对湿度一般应控制在 40% - 60%，过高的湿度可能导致设备部件生锈、电气故障，还可能使镀膜过程中产生的金属蒸汽凝结。同时，要避免设备暴露在有腐蚀性气体或液体的环境中。
电力供应：设备需要稳定的电力供应，电压波动范围应在设备规定的允许范围内，通常要求电压波动不超过 ±10%。为了确保设备的安全运行，需要配备单独的稳压电源和接地系统，防止因电力问题导致设备损坏或发生安全事故。
本回答由 丹阳市宝来利真空机电有限公司 提供
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开机前的准备工作 检查设备外观：仔细检查设备的各个部分，包括真空室、管道、阀门、电极等，看是否有损坏、变形、松动或异物。特别要注意真空室门的密封情况，密封不良会导致真空泄漏，影响镀膜效果。 检查气体系统：确认所需的镀膜气体（如氩气、氮气等）的供应情况。检查气体管路是否连接正确、牢固，气体压力是否符合要求。同时，要确保气体纯度达到设备规定的标准，不纯的气体可能会影响膜层的性能和质量。 检查冷却系统：如果设备有冷却系统，要检查冷却液的液位、流量和温度。确保冷却系统能够正常工作，因为在镀膜过程中，许多部件（如电源、靶材等）会产生热量，需要通过冷却系统来维持正常的工作温度。 检查真空系统：开机前要检查真空泵的油位和油质。油位过低会影响真空泵的抽气性能，油质变差则可能导致真空泵故障。同时，要检查真空计等真空检测设备是否正常工作。
